IC芯片X-RAY檢測設備是專(zhuān)門(mén)用來(lái)給IC芯片檢測其內部缺陷的一款無(wú)損檢測設備。IC芯片比較精密主要由微型電子器件或部件構成,采用一定的工藝,把一個(gè)電路中所需的晶體管、二極管、電阻、電容和電感等元件及布線(xiàn)互連一起,制作在一小塊或幾小塊半導體晶片或介質(zhì)基片上,然后封裝在一個(gè)管殼內,成為具有所需電路功能的微型結構。
其中所有元件在結構上已組成一個(gè)整體,使電子元件向著(zhù)微小型化、低功耗和高可靠性方面邁進(jìn)了一大步。但越精密的電路,檢測難度就越復雜。當前芯片檢驗的常用方法通常是將芯片層層剝開(kāi),再用電子顯微鏡對每一層表面進(jìn)行拍攝,這樣的檢測方式對芯片具有極大破壞性。
芯片X射線(xiàn)檢測圖像
芯片是一種較為精密的電子元器件,對其進(jìn)行質(zhì)量檢測的設備精度要求較高,X-RAY檢測設備主要依靠?jì)炔縓光管發(fā)射X射線(xiàn)照射IC芯片成像,且X射線(xiàn)具備感光作用。X射線(xiàn)同可見(jiàn)光一樣能使膠片感光,膠片感光的強弱與X射線(xiàn)量成正比,當X射線(xiàn)通過(guò)IC芯片時(shí),因芯片各組織的密度不同,對X射線(xiàn)量的吸收不同,膠片上所獲得的感光度不同,從而獲得X射線(xiàn)的影像。X-RAY檢測對IC芯片基本無(wú)任何損傷,故X光除醫用外,也大量應用在電子工業(yè)品檢測領(lǐng)域。
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